罗技高速研磨和抛光机提供了一个灵活的,非常可靠的系统处理和分析硬材料,如氮化镓,蓝宝石,钻石和碳化硅。一系列先进的原位传感器不断为操作人员提供实时的过程信息。监测参数包括CoF(在抛光过程中),衬垫,浆料,板和载体/衬垫界面温度。这些传感器将信息传回操作人员,以识别和评估重要的工艺条件或工艺稳定性-对最佳性能至关重要的因素。高速系统的用户界面采用国际公认的分析软件技术(Labview 10)。所有功能都通过触摸屏控制。数据可以从现场过程传感器和子系统中获取,并输出(通过USB端口)到第三方统计或分析软件。