展开热质量流量控制器可编程数字信号处理设计特点odigital和模拟模式运作oprogrammable流配置oavailable流范围从0到10 sccm 0到100 slpm omaximum压力1000 psig(70条)omulti-drop能力高达256台10气体ototalizer ostores校准数据显示总气体量oalarm限制高和低气流oconversion因素256气体oauto优化功能DFC数字质量流量控制器微处理器驱动的数字流量控制器允许一个程序,记录和分析各种气体的流量与计算机通过RS-485接口(可选RS-232可用)。控制器可以编程为各种控制功能,包括流量设定点,累加器,停止累加器,读取累加器,从预设流量累加器,停止在预设总数,自动归零,和更多。计量气体分为两种层流路径,一种通过主流道,另一种通过毛细管传感器管。两种流动管道的设计都是为了确保层流,因此它们的流量比率是恒定的。传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热,当流动发生时,气体将热量从上游输送到下游绕组。所产生的温度差与传感器绕组电阻的变化成正比。